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  • 产品名称：日立热场式场发射扫描电镜SU5000

  • 产品型号：
  • 产品厂商：日立(Hitachi)
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简单介绍：
日立热场式场发射扫描电镜SU5000分辨率1.2 nm @ 30 kV，可选配低真空模式，真空范围: 10 - 300 Pa，可选配5分割半导体探测器 (PD-BSD)、能谱仪 (EDS)、波谱仪 (WDS)、背散射电子衍射探测器 (EBSD)等多种附件。
详情介绍：
日立热场式场发射扫描电镜SU5000特点：
▲高性能电子光学系统
二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)＊
高灵敏度: PD-BSD, 强的低加速电压性能，低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于微区分析
▲性能优良
压力可变: 具有优的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器(UVD)＊
开仓室快速简单换样(大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
微区分析: EDS, WDS, EBSD等等
*选配附件

日立热场式场发射扫描电镜SU5000规格：

项目

内容

分辨率

1.2 nm @ 30 kV
3.0 nm @ 1 kV
2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1
3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2

放大倍率

10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)

电子光学系统

电子枪

ZrO /W 肖特基式电子枪

加速电压

0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进)

着陆电压

减速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1

大束流

> 200 nA

探测器

低位二次电子探测器

低真空模式*2

真空范围: 10 - 300 Pa

马达台

马达台控制

5 - 轴自动 (优中心)

可动范围

X：0～100mm
Y：0～50mm
Z：3～65mm
T：-20～90°
R：360°

大样品尺寸

大直径: 200 mm
大高度: 80 mm

选配探测器

高分辨率顶位二次电子探测器＊1

高灵敏度低真空探测器 (UVD)

5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3

能谱仪 (EDS)

波谱仪 (WDS)

背散射电子衍射探测器 (EBSD)

*1：减速功能（包含高分辨率顶位二次电子探测器）

*2：低真空功能（包含5分割半导体探测器）

*3：空压机(本地采购)

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