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*设备照片包含选配项。
日立SU8600系列场发射扫描电子显微镜特点：
★高分辨成像
日立的高亮度电子源可力求了即使在低着陆电压下，也可获得高分辨的图像。
★高衬度的低加速电压背散射图像
3D NAND截面观察;
在低加速电压条件下，背散射电子信号能够明显的显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。
★快速BSE图像：新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)*
由于使用了新型的OCD探测器，即使扫描时间不到1秒，也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像.
★自动化功能*
EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块，如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽，将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后，该程序便可以在每次调用时自动获得、重现性好的图像数据。
★灵活的用户界面
原生支持双显示器，提供灵活、的操作空间。6通道同时显示与保存，实现快速的多信号观测与采集。1,2,4 或6通道信号可在同一个显示器上同时显示，可切换内容包括SEM各探测器以及样品室相机和导航相机。可以通过使用两个显示器来扩展工作空间，可定制的用户界面以提高工作效率。
日立SU8600系列场发射扫描电子显微镜规格：
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机型 |
SU8600 系列 |
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电子光学系统 |
二次电子像分辨率 |
0.6 nm@15 kV |
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0.7 nm@1 kV * |
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放大倍率 |
20 to 2,000,000 x |
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电子枪 |
冷场发射电子源，支持柔性闪烁功能，包含阳烘烤系统。 |
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加速电压 |
0.5 to 30 kV |
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着陆电压 * |
0.01 to 20 kV |
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探测器 |
（部分为选配项） |
上探测器(UD) |
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UD ExB能量过滤器，包含SE/BSE信号混合功能 |
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下探测器(LD) |
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顶探测器(TD) |
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TD能量过滤器 |
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镜筒内背散射电子探测器(IMD) |
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半导体式背散射电子探测器 (PD-BSED) |
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新型闪烁体式背散射电子探测器(OCD) |
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阴荧光探测器(CLD) |
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扫描透射探测器(STEM Detector) |
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附件 |
（部分为选配项） |
导航相机、样品室相机、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射探测器(EBSD) |
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软件 |
（部分为选配项） |
EM Flow Creater、HD Capture(高 40,960×30,720 像素） |
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样品台 |
马达驱动轴 |
5轴马达驱动（X/Y/R/Z/T） |
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马达驱动轴 |
X：0~110 mm |
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Y：0~110 mm |
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Z：1.5~40 mm |
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T：-5~70° |
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R：360° |
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样品室 |
样品尺寸 |
大直径：150 mm |
*减速模式下
