技术参数
技术指标 二次电子分辨率 1.0nm (15 kV);2.0 nm (1 kV) 背散射电子分辨率 3.0nm (15kV) 电子光学： 电子枪 冷场发射电子源 加速电压 0.5~30kV(0.1KV/步，可变) 放大倍率 x 20~ x 800,000 物镜光阑 4孔，真空外选择和调校(内置加热器) 检测器 二次电子检测器 (高位/低位) 背散射电子检测器(可选) EDX(可选) 透射电子检测器(可选) 法拉第杯(可选) 阴极荧光检测器(可选) 样品台 l型: X: 0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360° 驱动:手动(可选3轴驱动) ll型: X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70° R: 360°驱动:PC机控制5轴驱动 图像显示 操作/显示 PC/AT 兼容, 操作系统： WindowsTM 2000 18.1" 平面显示器 扫描模式 标准，Split/dual mag./line scan, position set, spot, AAF, SAA, oblique 画面储存 640 x 480, 1,280 x 960, 2,560 x 1,920,5,120 x 3,840 图像编辑 内置图像处理软件和图像编辑软件 图像文件格式 BMP, TIFF, JPEG 扫描速度 TV, 慢速 (0.5 ~ 40 s/帧) 用于观察 慢速 (40 ~ 320 s/帧) 用于记录 成像过程 自动调节亮度和对比度 光栅旋转，自动聚焦，自动像散校正， 平均，帧积分，伪彩色显示 自动数据记录 胶卷号，加速电压，微米标尺，放大 倍率，日期，时间，工作距离 电子图像移动 ±12µ ( W.D. = 8 mm) 真空系统 完全气阀自动调节 离子泵 3 台 TMP 1 台 RP 1 台
主要特点
1. 新型物镜采用**的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。 2. 1KV低加速电压时保证有2.0nm的分辨率。 3. 两种样品台可选：Ⅰ型50mm×50mm小样品台或Ⅱ型110mm×110mm大样品台，采用图形界面软件用计算机控制，5轴驱动。 4. 包括涡轮分子泵在内的先进的真空系统。 5. 根据用户的意见而设计新的图形用户界面使得S-4800成为现今*先进、用户友好的扫描电子显微镜。