技术参数
技术指标： 二次电子分辨率 3.0nm (25kV,高真空模式) VP可变压力模式分辨率 4.0nm (25kV,可变压力模式) 放大倍数范围 5x~300,000x(65阶) 加速电压 0.3kV~30Kv 可变压力范围 1~270Pa *大样品尺寸 150mm直径 图像移动范围 ±20µm(WD=15mm) 样品台(选项) (1) 超优中心样品台 X: 32mm Y: 32mm Z: 5~35mm R: 360° T: -90°~+90° 自动样品台： 无 (2) 80x40平动式样品台 X: 80mm Y: 10mm Z: 5~35mm R: 360° T: -20°~+90° 图形移动自动样品台 软件：可选 (3)大型优中心样品台 X: 100mm Y: 50mm Z: 5~40mm R: 360°T: -0°~+60° 图形移动自动样品台 软件：可选 (4)冷却样品台-20 X: 15mm Y: 15mm Z: 15~35mm R: 无T: -45°~+45° 自动样品台： 无 电子枪： U型钨丝 枪偏压 可加速电压关联 可变电压(双偏压功能) 检测器 SE检测器 BSE检测器，可变压力模式 EDX位置 W.D.=15mm, 出入角=35° 操作语言 英语(日语) 计算机操作系统 PC兼容，Windows NT SEM操作 鼠标、键盘旋钮控制盘(选件) 扫描方式 TV,慢速(4步),照相(4步),分开 显示器 大屏幕 XGA彩色显示器(1024 x 768像素) 自动调节功能 自动聚焦，自动像散校正 自动亮度和对比度调节 自动灯丝饱和度调节 数字图像储存 640 x 480像素，1280 x 960像素 图像格式 BMP 图像数据条显示 加速电压，放大倍数， 微米标尺,WD(工作距离),照片放大倍数 真空度水平,检测器,日期,文件号等 真空系统 全自动，DP 570L/Sec， RP 160L/min x 2 (S-3000N) RP 160L/min x 1 (S-3000H) 系统保护 断电、失真空和缺水保护
主要特点
S-3000N和S-3000H的标准功能 1. Windows NT界面。 2. 独特的双偏台功能，即使在低电压也有不错的性能。 3. 和普通PC类似的用户友好操作环境。 4. 交互式显示器显示和鼠标操作。 5. 旋钮和鼠标控制都可以用于SEM参数设置。