技术参数
技术指标 分辨率：0.2nm (晶格像) 加速电压：40kV ~ 120kV 放大倍率： 连续放大模式：x200~x600,000 低倍模式：x50 ~ x1,000 图像旋转： 倍率范围：x1,000 ~ x40,000 旋转角度：±90º (15º每步) 数字相机：1,024 x 1,024象素 样品台：测插式优中心测角台 样品台移动：X/Y：±1mm Z：±0.3mm 倾斜角度：±20º(±60º可选) 功能：图像导航功能和样品位置记忆功能
主要特点
1.使用日立独有的双狭缝物镜，可以得到独有的低倍大视野、高对比度成像的特点 2.标配有高灵敏度CCD相机，具有低剂量电子束成像的功能。CCD相机的灵敏度约比通常的光学相机高40倍。 3.CCD相机与显微镜是一个完整的整体，这样可以有友好的操作环境。 4.具有更多的自动化功能，如自动聚焦、自动消像散、自动拍照等 5.标准就具有图像数据库功能，测长、图像过滤功能等 6.具有较强的扩展功能，如三维重构等。