技术参数
技术指标： 项目 描述 SE分辨率 3.0nm (30kV)，高真空模式 10nm (3kV), 高真空模式 BSE分辨率 4.0nm (30kV)，低真空模式 放大倍率 x5 ~ x300,000 加速电压 0.3 ~ 30 kV 低真空范围 6 ~ 270 Pa *大样品尺寸 直径200mm 样品台 I型 II型 X 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm Y 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm Z 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm R 360º 360º T -20 ~ +90º -20 ~ +90º *大样品高度 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) 马达驱动 手动 五轴马达驱动 电子光学 电子枪 预对中钨灯丝 物镜光栏 可移动式4孔物镜光栏 枪偏压 四阶梯度偏压 检测器 二次电子检测器 高灵敏度半导体背散射电子检测器 分析位置 WD=10mm, TOA=35o 显示 语言 英语 操作系统 Windows XP 控制 鼠标、键盘，手动旋钮 自动调校 自动束流设定 自动合轴
主要特点
特点: 1. S-3400N的设计具有自动合轴功能，这是其他同类电镜所不具备的功能。包括自动束流设定，自动轴向合轴等功能。 2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率 3. 实时显示两个图像，也具有实时全屏显示图像的功能 4. S-3400N II型具有五轴马达台，倾斜角度可达-20度~+90度，样品*高可达80mm 5. 分析样品仓可以同时安装EDX， WDX及EBSD 6. 由于真空系统使用涡轮分子泵，节约占地面积和电源消耗。