ST2000薄膜测厚仪特点1) 因为是利用光的方式,所以是非接触式,非破坏式,不会影响实验样品。
2) 可获得薄膜的厚度和 n,k 数据。 3) 测量迅速正确,且不必为测量而破坏或加工实验样品。
4) 可测量 3层以内的多层膜。
5) 根据用途可自由选择手动型或自动型。
6) 产品款式多样,而且也可以根据顾客的要求设计产品。
7)可测量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 3“ )
8)Table Top型, 适用于大学,研究室等
The advantage of infinity - corrected optics Optics solve the problem of coma aberration by using a new tube lens
Polymers : PVA, PET, PP, PR ...
Dielectrics : SiO2, TiO2, ITO, ZrO2, Si3N4 ..
Semiconductors : Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS...
*Supporting up to 3 Layers
*Supporting Backside Reflection