产品规格： 波长范围： 250到1100 nm 光斑尺寸： 500微米至5毫米 样品尺寸： 200x200mm 基板尺寸：*高达50毫米的厚度 测量厚度范围： 2纳米至50微米 测量时间： 2毫秒*低 精度：优于0.5 ％ 重复性 ：<1 Ǻ
系统配置: •型号：SR100R •探测器:2048像素CCD •光源:大功率氘和卤素光源 •光传递方式：光纤 •载物台：黑色铝合金,可方便调节样品的高度，200mmx200mm大小 •通讯：与计算机的USB •测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率 •软件：TFProbe 2.2 •电源：110 - 240伏交流电/ 50 - 60赫兹•保修：一年主机及配件
易于安装和容易操作的软件视窗 先进的光学设计，*佳的系统性能 阵列探测器系统，以确保快速测量 测量薄膜厚度和折射率，*高达5层 可以收集反射，透射和吸收光谱，以毫秒为单位 能够用于实时或在线厚度，折射率监测 系统具有**的光学常数数据库 先进的TFProbe软件允许用户使用NK表，有效快速的分析测试样品。 可升级到中型（ Microspectrophotometer ）系统，开关磁阻电机绘图系统，多通道测试系统， 直接测量的图案或功能结构 适用于许多不同类型的衬底上不同厚度测量 各种配件供特殊配置，如运行测量的曲面 二维和三维图形输出和良好的用户数据处理界面