波长范围： 250到1000纳米 波长分辨率： 1nm 光斑大小：100μm （ 4倍） ， 40μm （ 10倍） ， 30μm （ 15x ） ， 8μm （ 50x ） 基板尺寸：高达20毫米厚 可测量厚度范围： 2nm至25微米 测量时间：*低2毫秒 精度：优于0.5 ％ 重复性 ： <2 Ǻ
System Configuration: · Model: MSP100RTM · Detector: CCD Array with 2048 pixels · Light Source: High power DUV-Visible · Automatic Stage: Black Anodized Aluminum Alloy with 5”x3” net travel distance and 1µm resolution, program controlled · Motorized Z focus drive and X-Y-Z joystick · Long Working Distance Objectives: 4x, 10x, 15x(DUV), 50x · Communication: USB · Measurement Type: Reflection/Transmission spectra, Film thickness/refractive index and feature dimensions · Computer: Intel Core 2 Duo Processor with 200GB Hard drive and DVD+RW Burner plus 19” LCD Monitor · Power: 110– 240 VAC /50-60Hz, 3 A · Dimension: 16’x16’x18’ (Table top setup) · Weight: 120 lbs total · Warranty: One year labor and parts