帶有預熱系統的滑動PECVD

● 與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫多薄膜損壞。
● 可以通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果。
● 爐體有兩個溫區，可在爐體內形成溫度梯度，兩個溫區*大溫差為400℃。
● 管式爐*高工作溫度為1100℃。
●帶有預熱爐，*高溫度為1100℃，氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

● 連續工作*高溫度為1100℃
● 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命(點擊文字查看詳細資料）
● 兩個溫控系統獨立控制兩個溫區，都可設置30段升降溫程序
● 每個溫區長度為200mm
● 總溫區長度：400mm
● 兩個溫區*大溫差為：400℃
● 爐管材料：高純石英管
● 石英管尺寸：50mm OD x 44ID x 2200mm L
● 所需電源: 208 – 240V AC單相
● *大功率： 4KW

●  輸出功率: 5 -500W可調
● 穩定性為：+/-1%
● 射頻電源頻率：13.56 MH, 穩定性±0.005%
● *大反向功率: 200W
● 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半導體, 陰極
● 噪音:<50 dB.
● 冷卻方式：空氣冷卻
● 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz

● 一款小型單溫區管式爐，加熱區為200mm
● *高溫度:  1100ºC
● 可設置30段升降溫程序
● 氣體通過等離子射頻電源前，先通過預熱爐
● 也可將固體和液體原料放在預熱爐中，氣化后與氣體原料相混合

● 測量范圍3.8x10-5 至 1125 Torr
● 當氣壓在10mbar以上時，可獨立測量各種氣體，不必做校正（包括混合氣體）
● 對于氣體的壓力檢測具有較高的精-確度和重復性
● 信號響應時間較短（≤30ms)
● 因為傳感器上鍍有防腐涂層，所以具有較好的抗腐蝕性

● 可以從本公司選購以下幾種真空泵
● 如您想獲得更高的真空度(<10-5 torr or better) 可選國產或進口高真空機組
● 配有擋板閥波紋管和卡箍等真空配件

可將電動滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動，以達到快速升溫和快速降溫的效果 滑動速度：0-70 mm/s（可調）

● RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內，將控溫程序和溫度曲線導入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費用在本公司購買）
● 為了獲得*大的升溫速率，可將爐體升溫到設定溫度，然后將爐體滑到樣品盛放位置

可以選購2-4通道質子流量計混氣系統（精度1.5%）

●  爐體: 550 x 380 x 520  mm
●  滑軌長度：1750 mm

220 Lbs.

●爐管內氣壓不可高于0.02MPa
●由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精-確**
●當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
●石英管的長時間使用溫度＜1100℃
●對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

CE Certified

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