基于Raith追求**的标准，VOYAGER使电子束曝光更上一层楼：更快，更智能，**，经济。
eWrite电子束直写技术
VOYAGER是应用Raith新的eWrit技术的**台系统。
eWrite结合了新的电子束曝光电子光学系统，及革新性的 图形发生器设计。eWrite适合所有研发需求。
快速
VOYAGER通过以下手段实现了提高曝光速度的设计理念：
直观好用的Windows? 7操作环境
自动聚焦和消象散设置
一键式预置高分辨或高产出模式
功能**的NanoSuite软件，包括强大的邻近效应修正和GDSII CAD图形编辑
写场大至500 μm，实时进行动态修正
新研制的静电偏转器
50 MHz图形发生器
曝光效率高至1cm2/h（占空比50%）
从设计直至完成样片的曝光工艺，实现了可靠的速度提升，这是 VOYAGER对用户的保证。
智能
VOYAGER是根据用户的宝贵的需求和反馈来进行研制的。
宽松的环境指标：迷你小环境，允许大的温度波动和噪声容忍度
基于先进和灵活的现场可编程门阵列设计，图形发生器可现场升级
集成的变焦镜头可实现束电流范围宽，且可连续调节
高分辨成像和量度，用于曝光结果的检测和确认
强大而灵活的对准能力，任何形状和位置的标记都可识别
智能化的设计意味着蕴含很多聪��的点子，曝光结果更理想。
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VOYAGER电子束直写系统在系统构建和曝光应用上都体现出了**
先进的电子枪设计，含三个透镜，用于快速及方便的对准
InLens二次电子探测器，图像清晰且真实
紧凑开关模式电源
无拼接曝光模式（连续移动工作台+移动电子束），对应长路径或周期性图形
专业的三维曝光模式，如菲涅耳透镜模拟和大面积灰度位图曝光
经济
VOYAGER从大局到小细节都围绕着**实现提高功效和性价比的设计理念
迷你小环境节省了设备整个使用时间内的房间环境费用
占地小，节约了实验室面积
光刻机内还含有高分辨成像功能和样品导航选址能力
只换灯丝部分而不用更换电子枪整体，更换费用降低
其他为设备所有者节约费用的优化
更多VOYAGER 新一代高速度电子束曝光系统介绍，请查看：http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=481