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产品资料

Auto500GB

Auto500GB
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  • 产品名称:Auto500GB
  • 产品型号:
  • 产品展商:HHV
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简单介绍
Auto500GB真空镀膜系统设计集成于手套箱内. 系统安装了特殊的腔体,前置开门可在手套箱内取放产品,后置铰链门用于设备维修.蒸发源带温度控制,可用于有机材料的沉积
产品描述
品牌概述
HHV Ltd 成立于1960年,隶属于印度班加罗尔HHV Pvt., 是一家历史*悠久的薄膜和真空技术公司. 该公司拥有众多研究所,大学院校及工业生产客户。近年来,HHV Pvt成为Edwards的制造商,生产如Auto306, Auto500 和TF600 等现代薄膜沉积系统。.
应用领域

Auto500GB真空镀膜系统 用于DC和RF溅射
Auto500GB真空镀膜系统可被装配为研究型溅射系统,设备可安装*多3个溅射源同时允许用户选择DC和RF电源。工艺气体和工装夹具可选为工艺提供了*大便利.

Auto500GB多工艺应用

Auto500GB 可适应多种应用. FL500大型腔室可容纳EB3电子束蒸发源,溅射源和热阻蒸发源,使用户在不破坏真空的环境下运用不同的技术进行多次膜沉积. 系统还可提供辉光放电清洗和基板加热以及膜厚监测和控制.

产品特点

HHV Auto500GB沉积系统集成于手套箱内

Auto500GB设计集成于手套箱内. 系统安装了特殊的腔体,前置开门可在手套箱内取放产品,后置铰链门用于设备维修.
蒸发源带温度控制,可用于有机材料的沉积

技术参数

真空系统
600l/s 扩散泵
500l/s 涡轮分子泵
450l/s 干泵和涡轮分子泵
1500l/s 冷凝泵
14.3m3/h 油封旋片泵和液氮冷井.

**控制

触屏式PLC 真空系统控制
自动高真空工艺阀门保护
完善的**互锁
Auto500 CE认证

HHV真空镀膜系统中国代理创世杰科技有限公司
 
    网址: http://www.micropowergroup.com
 邮件:bowenzhang@micropowergroup.com
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