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产品资料

TF600

TF600
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  • 产品名称:TF600
  • 产品型号:
  • 产品展商:HHV
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简单介绍
HHV TF600真空镀膜系统用于研发和生产 HHV TF600的设计在于提高工艺等级.客户可选择低成本PLC控制或完全PC控制. 600mm 宽腔体可选涡轮分子泵或冷凝泵,同时可用于离子束沉积和刻蚀. 凭借 600mm宽的腔室,客户可选择多种沉积模式和蒸发源以达到*大的生产效率.
产品描述
品牌概述
HHV Ltd 成立于1960年,隶属于印度班加罗尔HHV Pvt., 是一家历史*悠久的薄膜和真空技术公司. 该公司拥有众多研究所,大学院校及工业生产客户。近年来,HHV Pvt成为Edwards的制造商,生产如Auto306, Auto500 和TF600 等现代薄膜沉积系统。.
应用领域

TF600由PLC控制.
TF600带PLC控制给予研发型客户一套实用且低成本的工具. 工业标准触屏式PLC在沉积工艺时控制真空系统.
工艺控制选件可一键完成多层沉积工艺循环.

TF600由PC控制
TF600可完全由PC控制.PC运行给予Windows的SCADA系统软件. 单一界面完整设置工艺控制程序.
控制系统自动排序且记录蒸发和真空数据的日志.

 

产品特点

HHV TF600真空镀膜系统用于研发和生产
HHV TF600的设计在于提高工艺等级.客户可选择低成本PLC控制或完全PC控制. 600mm 宽腔体可选涡轮分子泵或冷凝泵,同时可用于离子束沉积和刻蚀.

凭借 600mm宽的腔室,客户可选择多种沉积模式和蒸发源以达到*大的生产效率.

技术参数

沉积工艺

  • 热阻蒸发源,电子束蒸发源 , DC 和 RF溅射源
  • 离子束沉积和离子束刻蚀
  • 附加手动控制源
  • 石英舟
  • 完全PC控制
Auto500真空镀膜系统中国代理创世杰科技有限公司
 
   网址: http://www.micropowergroup.com
 邮件:bowenzhang@micropowergroup.com
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