用于VCSEL湿氧氧化工艺，量产式设备，一次可处理25片
吉永商事株式会社（上海分公司：上海瞻驰光电科技有限公司）是一家以半导体事业为核心经营内容的技术型、国际化商贸公司。总部设于日本大阪，在中国香港、上海、北京、西安、武汉、无锡等地设有销售及服务中心。公司一贯秉持“诚信，专业，改善”的经营理念，专注于光通信芯片、微波射频器件、功率器件、传感器、先进封装等领域，可提供LD/PD,PA/Filter/MMIC,LN/LT,IGBT,LN/LT,MEMS,CIS,TSV /Fan-out等成套工艺设备解决方案。
吉永商事株式会社与日本多家有名半导体设备厂商合作，共同致力于服务中国客户，具有深厚的行业背景和技术实力。可为中国的生产企业、科研机构和高校提供包括设备、材料、生产工艺等多方面的技术支持。
主要产品：晶圆背面减薄机|CMP化学机械平坦化|晶圆贴膜撕膜|划片机、裂片机|蒸发台、刻蚀机、电镀|IGBT高压测试分选|扩膜机|排巴机|二氧化碳发泡|高温退火炉