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薄膜制备设备
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分类
薄膜检测
CVD(化学气相沉积)
提拉涂膜机(浸渍、浸润涂覆)
旋转涂膜机(匀胶机)
低真空镀膜机
化学气相沉积设备(CVD、PECVD、LPCVD等
蒸发镀膜设备
丝印机
喷雾热解制膜机
高真空镀膜机
产品列表
产品图片
产品名称/型号
产品简单介绍
超声雾化热解涂覆薄膜设备 - MSK-SP-04-LD
MSK-SP-04-LD是一款超声喷雾热解设备,它可以**控制溶液化学计量比、雾粒的喷出速度和雾粒大小等参数。采用步进电机和微处理器来控制容积泵来**输送溶剂。一个超声波雾化器可以制备厚度较薄的涂层,并且由一步进电机控制可在X轴和Y轴方向移动,以确保涂层的均匀性。同时基底温度可以进行控制,以满足实验需要。
VTC-200P真空涂层机
VTC-200P真空涂层机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。
微型吸盘
微型吸盘与VTC-100配用,是针对微小样片的固定而设计。选用上等塑胶制作而成,具有操作方便,吸附稳定的优点。
ZKXB-B真空吸笔
ZKXB-B真空吸笔用于在实验过程中取放平面微小样件,能够避免使用镊子等传统工具对样件造成损坏。可与VTC-100旋转涂膜机及微型吸盘配套使用。
ZKXB-A真空吸笔
ZKXB-A真空吸笔用于在实验过程中取放平面微小样件,能够避免使用镊子等传统工具对样件造成损坏。可与VTC-100旋转涂膜机及微型吸盘配套使用。
VTC-50型 旋转涂膜机
VTC-50型 旋转涂膜机(原型号TC-100) 能够瞬间提供可控高旋转速度,迅速将液体、胶状体等材料在衬底上成膜。由于采用铸铝结构,在高转速下运行平稳。
VTC-200 真空旋转涂膜机
VTC-200真空旋转涂膜机主要应用于实验室中薄膜的快速形成;VTC-200 真空旋转涂膜机是利用涂层机的高速旋转,使粘滞系数较大的胶体、溶液等材料均匀的涂覆在样品的表面,适合于大专院校、科研院所、工矿企业使用。
VTC-100真空旋转涂膜机
VTC-100真空旋转涂膜机主要应用于实验室中薄膜的形成;利用涂层机的高速旋转,使粘滞系数较大的胶体、溶液等材料均匀的涂覆在样品的表面,适合于大专院校、科研院所、工矿企业使用。
5英寸近距离蒸发镀膜炉
OTF-1200X-RTP-II-55英寸近距离蒸发镀膜炉是一款快速热处理炉,其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门实际针对于热蒸发或CSS(Close Spaced Sublimation)镀膜实验,其镀膜面积可达到5"x5"。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管(分别位于顶部和底部),*大升温速率为20ºC/s 。采用PID方式进行温度调节,可设置30段升降温程序。仪器面板上安装有RS485接口,可配用控
GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪
GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪,可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜,样品直径可达50mm,镀膜厚度可达300Å,特别适用于SEM样品的镀膜。
GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪
GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的*简单、可靠、经济的镀膜设备,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。
500W直流等离子磁控溅射镀膜仪--VTC-2D
VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等离子体磁控溅射镀膜仪系统,系统中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC电源、2"的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜,它是一款物美价廉的实验手。
300W射频等离子磁控溅射镀膜仪
VTC-2RF是一款小型的射频(RF)等离子体磁控溅射镀膜仪系统,系统中包含了所有所需的配件,如300W(13.5MHz)的RF电源、2"的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜及非金属薄膜,它是一款物美价廉的实验帮手。
OTF-1200X-RTP-II 快速蒸发管式炉
OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉,专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11" OD,炉管内载样盘可放置3" 的圆形或2"x2"的方形基片。加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体的顶端和底部,其升温速率高达20ºC/S 。温控系统为PID30段程序化控制,控温精度为+/-1ºC。仪器面板上带有RS485接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出.
GSL-1100X-SPC16-3 等离子3靶溅射仪
GSL-1100X-SPC16-3 等离子3靶溅射仪是一款经过CE认证的紧凑型等离子镀膜机。本机是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,*简单、可靠、经济的镀膜设备。它的特别之处是在一个真空室内设计安装了三个靶。旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料。适用于实验室的各种复合膜样品制备,及非导体材料实验电极制作。
带有预热系统的滑动PECVD
OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款双温区的PE-CVD管式炉系统,组成部分为500W的射频发生器、滑动速度可控的双温区滑轨炉,预热炉(作用为使固体原料蒸发)和德国进口的无油泵。此款PE-CVD对于生长纳米线或用CVD,方法来制作各种薄膜是一款新的探索工具。
1700℃单温区三通道混气CVD系统
GSL-1700X-F3LV是一款CE认证的管式炉CVD系统,其真空泵采用双旋片式,混气系统采用三路浮子供气系统,*高温度可以达到1700°C,真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。
三温区三通道混气CVD系统
三温区三通道混气CVD系统是一款通过CE认证的三温区管式炉CVD系统,其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵,混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃,真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。
九通道混气高真空CVD系统
九通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-80-HVC9 is CE certified 80mm diameter alumina tube furnace with vacuum pump system (up to 10-5 torr) and 9 channel precision digital Mass flow-meters, which can control nine types of gases f
1700°C二通道混气高真空CVD系统-GSL-1700X-4-HVC
GSL-1700X-4-HVC是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,其炉管直径为4英寸,它是由二路质子混气系统和高真空机组组成,其*高工作温度可达1600℃,极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行**的混气,然后导入到管式炉内部。
多通道质量控制高真空PECVD管式炉系统
为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD) 我公司供应的产品符合国家有关环保法律法规的规定(含采购商ISO14000环境体系的要求),不会造成环境污染; 该产品符合含采购商OHSMS18000职业**健康管理体系标准的要求,不会对接触产品的人员健康造成伤害!
1200℃Mini型 2通道CVD系统
OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式炉,是一款通过CE认证的可开启式管式炉,能使样品加热到1200℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计,右法兰上安装有一KF-25接口,可以与机械泵相连接(抽速为226L/m)。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头,使得炉体可与两路混气系统相连接。精-确的控温系统提供30段升温和降温程序,其控温精-确度为+/- 1 ℃ 。
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