您好,欢迎来到仪表展览网!
请登录
免费注册
分享
微信
新浪微博
人人网
QQ空间
开心网
豆瓣
会员服务
进取版
标准版
尊贵版
|
设为首页
|
收藏
|
导航
|
帮助
|
移动端
|
官方微信扫一扫
微信扫一扫
收获行业前沿信息
产品
资讯
请输入产品名称
噪声分析仪
纺织检测仪器
Toc分析仪
PT-303红外测温仪
转矩测试仪
继电保护试验仪
定氮仪
首页
产品
专题
品牌
资料
展会
成功案例
网上展会
词多 效果好 就选易搜宝!
南京康氏保健制品有限公司
新增产品
|
公司简介
注册时间:
2005-10-09
联系人:
电话:
Email:
首页
公司简介
产品目录
公司新闻
技术文章
资料下载
成功案例
人才招聘
荣誉证书
联系我们
产品目录
多功能超高倍显微仪
制样设备
当前位置:
首页
>>>
产品目录
>>>
多功能超高倍显微仪
>>> 
制样设备
仪表展览网
>>>
展馆展区
>>>
多层溅射镀膜系统
>
多层溅射镀膜系统
产品资料
多层溅射镀膜系统
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
多层溅射镀膜系统
产品型号:
SC3000多层溅射镀膜系统
产品展商:
其他品牌
产品文档:
无相关文档
简单介绍
EMITECH SC3000多层溅射镀膜系统 ——大样品室,高分辨率 SC3000溅射仪系统可对12英寸(300mm)晶圆进行喷镀。它具有多靶溅射,在不破坏真空的情况下,可进行三层顺序涂层。 此仪器为高真空、高分辨率镀膜系统,它可进行精细及**、可重复的镀膜。 SC3000中配有三个磁电管靶,可镀超大直径的样品,加之可旋转的样品台,保证了均匀沉积。这种方式不需要特大的靶面,而用标准靶即可
产品描述
仪器特点和优点 ● 模块化控制电子学单元 ● 清洁的真空设计 ● 旋转样品台 ● 多靶溅射(配有溅射清洁光闸) ● LCD 状态/数据登录显示 ● 用户菜单输入可存贮10个方案 ● LCD显示(真空、时间及电流) ● 灵敏的真空测量头(操作真空全范围显示) ● 具有ISO 100 Flange涡轮分子泵抽气系统,(可选更大的泵)240 L/sec ● 整个全自动程序包括净化非常快—15分钟 ● Peltier冷却靶面—无需循环水 ● 不用打开真空即可进行三层顺序镀膜 技术规格 仪器尺寸:450mm W x 500mm D x 300mm H (整个高度650mm) 重量:55公斤 工作腔室:不锈钢 300mm Dia x 200mm H(具有观察窗口) 靶:三靶54 mm 直径 x 0.3mm 厚铬作为标准靶材(各种靶材可选,如:金、铂、金/钯合金) 旋转样品台:适合6英寸及12英寸晶圆可调, 与靶的距离为60mm 真空范围:ATM-1x10-5 mbar 操作真空:1 x 10-3 mbar到 1 x 10-4 mbar 沉积电流:0-750mA 沉积速度:0-10nm/分 溅射定时:0-4 分钟 电源:230 伏 50Hz (包括泵*大电流为10安培) 115 伏 60Hz (包括泵*大电流为20安培) Services:Argon - Nominal 10 psi Nitrogen:Nominal 10 psi (Argon may be used as common gas) 前级旋转泵:No5真空泵, 85L/Min complete with Vacuum Hose and Oil Mist Filter. 8m3/Hr.
产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!
温馨提示:为规避购买风险,建议您在购买前务必确认供应商资质与产品质量。
免责申明:以上内容为注册会员自行发布,若信息的真实性、合法性存在争议,平台将会监督协助处理,
欢迎举报
产品留言
标题
内容
联系人
联系电话
电子邮件
公司名称
联系地址
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!
相关产品
离子溅射镀膜机 K500 离子溅射镀膜机
高分辨率溅射仪 K575X 高分辨率溅射仪
溅射镀膜仪 K650X溅射镀膜仪
三靶溅射镀膜仪 K675X 三靶溅射镀膜仪
多层溅射镀膜系统 SC3000多层溅射镀膜系统
若网站内容侵犯到您的权益,请通过网站上的联系方式及时联系我们修改或删除