型号:UPC-1000L/UPC-2000L
制造商:UPTECH
设备用途: 二氧化碳发泡机,又称超纯水防静电装置,去离子水电阻 率调节装置,加碳机等等。
其原理是向高电阻率的超纯水中添加二氧化碳,在水中产 生适量的离子增强超纯水的导电性,降低超纯水的电阻率 防止在划片制程、清洗等半导体加工过程中产生静电损伤 产品,消除硅屑的静电吸附便于清洗干净,*后烘干后二 氧化碳挥发不残留任何杂质,不造成二次污染。
二氧化碳发泡机,可有效控制微电子工业生产制程中的静 电微害,防止静电吸附导致产品因静电放电受到损伤,防 止静电破坏和微粒子的附着,大大提高产品良品率,降低 生产成本。 设备原理: 设计原理是通过膜接触器来实现超纯水的洁净CO2无污 染注入。
膜接触器的特点是气体可以透析式穿过膜表面均 匀溶解到水里,而水和微粒杂质却很难透过膜。用这种特 制膜将CO2气体和超纯水隔开,通过设备中的精密调节 装置可以控制CO2在水中的溶解量,从而实现**控制 水的电阻率。
产品水的电阻率可以很方便且**地调整到 0.2-18MΩ·cm范围内。
设备特点: 设备操作简单,使用方便,故障率低 用气省,采用隔水气体膜式注入CO2,不产生气泡,另外除了隔4小时需要排1秒钟水气时 带出的CO2外,基本不浪费CO2。 产品水的电阻率可以很方便且**地调整到0.2-2MΩ·cm范围内 水流量变化情况下,可将电阻率变化范围控制在±0.1MΩ·cm内
适用行业: 此设备是用于半导体制造和FPD制造、晶圆和芯片切割工序的必备设备。