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冈本okamoto半自动CMP化学机械抛光机spp600s
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冈本okamoto半自动CMP化学机械抛光机spp600s
产品资料
冈本okamoto半自动CMP化学机械抛光机spp600s
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
冈本okamoto半自动CMP化学机械抛光机spp600s
产品型号:
SPP-600S
产品展商:
冈本OKAMOTO
产品文档:
无相关文档
简单介绍
一、设备概要: 1. SPP-600S 是半自动通用抛光型设备,不仅可以处理氧化层和金属膜,而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头,可实现高的吞吐量。它具有独特的软件和触摸屏,使用操作方便。
产品描述
二、设备构成:
1. 抛光头:
一个定盘,两个抛光头同时工作,可实现高的吞吐量;
可独立编程(包括转速)并单独控制每个抛光头;
夹紧机构为真空吸附固定或利用晶圆表面张力进行固定;
装备有保护圈以保证均匀性和边缘轮廓;
抛光压力基于实时监控;
具有摆动功能;
2. 定盘:
水冷系统可保证稳定运行
3. 修整主轴:
装有专用修整头;
修整压力靠头的自重;
4. 外壳:
全密封;
**互锁门;
5. 触摸屏:
9.5 寸全彩屏;
GUI 操作面板;
4 级程序控制;
6. 供液单元:
使用罗拉泵可实现稳定供液。
三、设备指标:
1. 适用晶圆尺寸厚度晶圆尺寸: 3 - 8 英寸
2. 设备尺寸及重量尺寸: 1380 (W) x 1210 (D)*x 1873 (H)
3. 厂务条件电力要求: 10KVA, 200V, 3 Phase, 50/60 Hz
压缩空气压力: ≧5.0 Kg/cm2
去离子水压力: 1.0-1.5Kg/cm2
去离子水流量: *大5 升/分钟
排气量: 3m3/分钟
冷却水(真空泵用): 压力:2.0Kg/cm2
流量:大于3 升/分钟
冷却水(抛光定盘冷
却系统用):
压力:2.0Kg/cm2
流量:大于3 升/分钟
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