12英寸硅片晶圆边缘抛光机 BBS 上海瞻驰光电科技有限公司

吉永商事日本6/8/12英寸硅片晶圆边缘抛光机，边抛机BBS E-150200

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产品名称：吉永商事日本6/8/12英寸硅片晶圆边缘抛光机，边抛机BBS E-150200
产品型号：BBS E-150/200/300
产品展商：其它品牌
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简单介绍

1. 设备名称 6英寸和8英寸硅片边缘抛光机 FINE SURFACE E-150/200 Type-II (DRY-IN / WET-OUT, OF/VN 2 Stations Type) 2. 设备用途本设备是对6/8/12英寸(150/200/300mm)硅片外周边缘用抛光布加压的方式来进行硅片边缘（缺口VN或者参考面OF)超精密抛光的设备。(备注：V-NOTCH缩写为VN即缺口；FLAT缩写为OF即参考面)

产品描述

1. 设备名称

6英寸和8英寸硅片边缘抛光机 FINE SURFACE E-150/200 Type-II

(DRY-IN / WET-OUT, OF/VN 2 Stations Type)

2. 设备用途

本设备是对6/8/12英寸(150/200/300mm)硅片外周边缘用抛光布加压的方式来进行硅片边缘（缺口VN或者参考面OF)超精密抛光的设备。(备注：V-NOTCH缩写为VN即缺口；FLAT缩写为OF即参考面)

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吉永商事日本6/8/12英寸硅片晶圆边缘抛光机，边抛机BBS E-150200