深圳市科晶智達科技有限公司
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薄膜制備設備
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分類
薄膜檢測
CVD(化學氣相沉積)
提拉涂膜機(浸漬、浸潤涂覆)
旋轉涂膜機(勻膠機)
低真空鍍膜機
化學氣相沉積設備(CVD、PECVD、LPCVD等
蒸發鍍膜設備
絲印機
噴霧熱解制膜機
高真空鍍膜機
產品列表
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產品名稱/型號
產品簡單介紹
超聲霧化熱解涂覆薄膜設備 - MSK-SP-04-LD
MSK-SP-04-LD是一款超聲噴霧熱解設備,它可以**控制溶液化學計量比、霧粒的噴出速度和霧粒大小等參數。采用步進電機和微處理器來控制容積泵來**輸送溶劑。一個超聲波霧化器可以制備厚度較薄的涂層,并且由一步進電機控制可在X軸和Y軸方向移動,以確保涂層的均勻性。同時基底溫度可以進行控制,以滿足實驗需要。
VTC-200P真空涂層機
VTC-200P真空涂層機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
微型吸盤
微型吸盤與VTC-100配用,是針對微小樣片的固定而設計。選用上等塑膠制作而成,具有操作方便,吸附穩定的優點。
ZKXB-B真空吸筆
ZKXB-B真空吸筆用于在實驗過程中取放平面微小樣件,能夠避免使用鑷子等傳統工具對樣件造成損壞。可與VTC-100旋轉涂膜機及微型吸盤配套使用。
ZKXB-A真空吸筆
ZKXB-A真空吸筆用于在實驗過程中取放平面微小樣件,能夠避免使用鑷子等傳統工具對樣件造成損壞。可與VTC-100旋轉涂膜機及微型吸盤配套使用。
VTC-50型 旋轉涂膜機
VTC-50型 旋轉涂膜機(原型號TC-100) 能夠瞬間提供可控高旋轉速度,迅速將液體、膠狀體等材料在襯底上成膜。由于采用鑄鋁結構,在高轉速下運行平穩。
VTC-200 真空旋轉涂膜機
VTC-200真空旋轉涂膜機主要應用于實驗室中薄膜的快速形成;VTC-200 真空旋轉涂膜機是利用涂層機的高速旋轉,使粘滯系數較大的膠體、溶液等材料均勻的涂覆在樣品的表面,適合于大專院校、科研院所、工礦企業使用。
VTC-100真空旋轉涂膜機
VTC-100真空旋轉涂膜機主要應用于實驗室中薄膜的形成;利用涂層機的高速旋轉,使粘滯系數較大的膠體、溶液等材料均勻的涂覆在樣品的表面,適合于大專院校、科研院所、工礦企業使用。
5英寸近距離蒸發鍍膜爐
OTF-1200X-RTP-II-55英寸近距離蒸發鍍膜爐是一款快速熱處理爐,其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。此款設備專門實際針對于熱蒸發或CSS(Close Spaced Sublimation)鍍膜實驗,其鍍膜面積可達到5"x5"。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管(分別位于頂部和底部),*大升溫速率為20ºC/s 。采用PID方式進行溫度調節,可設置30段升降溫程序。儀器面板上安裝有RS485接口,可配用控
GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀
GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達50mm,鍍膜厚度可達300Å,特別適用于SEM樣品的鍍膜。
GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀
GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀是依據二極(DC)直流濺射原理設計而成的*簡單、可靠、經濟的鍍膜設備,適用于實驗室各種復合膜樣品的制備,以及非導體材料實驗電極的制作。
500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀--VTC-2D
VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統,系統中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC電源、2"的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜,它是一款物美價廉的實驗手。
300W射頻等離子磁控濺射鍍膜儀
VTC-2RF是一款小型的射頻(RF)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統,系統中包含了所有所需的配件,如300W(13.5MHz)的RF電源、2"的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜,它是一款物美價廉的實驗幫手。
OTF-1200X-RTP-II 快速蒸發管式爐
OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸發管式爐,專門針對于用PVD或CSS法來制作薄膜。此款管式爐爐管直徑為11" OD,爐管內載樣盤可放置3" 的圓形或2"x2"的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管,分別安裝在腔體的頂端和底部,其升溫速率高達20ºC/S 。溫控系統為PID30段程序化控制,控溫精度為+/-1ºC。儀器面板上帶有RS485接口,若儀表內配有控溫軟件,就可將升溫程序和曲線導出.
GSL-1100X-SPC16-3 等離子3靶濺射儀
GSL-1100X-SPC16-3 等離子3靶濺射儀是一款經過CE認證的緊湊型等離子鍍膜機。本機是依據二極(DC)直流濺射原理設計而成的,*簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。它的特別之處是在一個真空室內設計安裝了三個靶。旋轉樣品臺,可以依次在同一樣品上涂覆三種材料。適用于實驗室的各種復合膜樣品制備,及非導體材料實驗電極制作。
帶有預熱系統的滑動PECVD
OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區的PE-CVD管式爐系統,組成部分為500W的射頻發生器、滑動速度可控的雙溫區滑軌爐,預熱爐(作用為使固體原料蒸發)和德國進口的無油泵。此款PE-CVD對于生長納米線或用CVD,方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。
1700℃單溫區三通道混氣CVD系統
GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統,其真空泵采用雙旋片式,混氣系統采用三路浮子供氣系統,*高溫度可以達到1700°C,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
三溫區三通道混氣CVD系統
三溫區三通道混氣CVD系統是一款通過CE認證的三溫區管式爐CVD系統,其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵,混氣系統為3路浮子混氣系統。此高溫爐燒結溫度可達1700℃,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
九通道混氣高真空CVD系統
九通道混氣高真空CVD系統GSL-1700X-80-HVC9 is CE certified 80mm diameter alumina tube furnace with vacuum pump system (up to 10-5 torr) and 9 channel precision digital Mass flow-meters, which can control nine types of gases f
1700°C二通道混氣高真空CVD系統-GSL-1700X-4-HVC
GSL-1700X-4-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統,其爐管直徑為4英寸,它是由二路質子混氣系統和高真空機組組成,其*高工作溫度可達1600℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr。混氣系統可以對兩種氣體進行**的混氣,然后導入到管式爐內部。
多通道質量控制高真空PECVD管式爐系統
為了使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD) 我公司供應的產品符合國家有關環保法律法規的規定(含采購商ISO14000環境體系的要求),不會造成環境污染; 該產品符合含采購商OHSMS18000職業**健康管理體系標準的要求,不會對接觸產品的人員健康造成傷害!
1200℃Mini型 2通道CVD系統
OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐,是一款通過CE認證的可開啟式管式爐,能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個數字式真空顯示計,右法蘭上安裝有一KF-25接口,可以與機械泵相連接(抽速為226L/m)。同時左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭,使得爐體可與兩路混氣系統相連接。精-確的控溫系統提供30段升溫和降溫程序,其控溫精-確度為+/- 1 ℃ 。
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